第283节（3 / 4）
面对这种情况他随即解释道：“关于以前的光刻机项目资料我已经全部看完了。”
说这句话时虽尽可能的平静，奈何传进其他人耳中却不亚于惊雷。
众人瞬间炸开了锅。
“已经全部看完了，这怎么可能？”
“两天时间就看完了，按照正常情况那么多资料就算不吃不喝估计也要十天半月。”
“简直不可思议。”
……
“我之前就说了，在看东西这方面我还是比较快的。”
徐昀闻言有些不好意思的补充了句。
而这照样让大家心情复杂，已经不知道该如何形容这种感受。
心想这哪里是单纯比较快，简直是太快了。
约摸过去三四秒的时间，只听杨靖忍不住说道：“看来我们是远远低估了徐教授的天赋啊。”
最终还是罗长辉出声化解这份尴尬氛围，重新把话题拉到正轨上。
“好了。”
“徐教授能展现出这种强大天赋，我们大家应该感到高兴才是。”
“正是这样才有更多希望解决光刻机问题。”
话音落下看到大家深以为意，他才扭头重新把目光放到徐昀身上抛出一个问题。
“徐教授。”
“不知道你打算先解决哪项问题？”
说完不单单是罗长辉，在场其他人也都第一时间把目光集中到了徐昀身上静静等待答案。
花费两天时间看完所里的光刻机项目资料后，徐昀知道国产极紫外光刻机主要面临的问题，主要分为光源和掩膜以及投影光学系统等。
极紫外光刻机光源发出的极紫外光线，极其容易被物质吸收。
光束经过多次反射后，只有不到2％的光线能使用。
能量转化率极低。
因此需要强大光源，来保证射线光源足够强。
另外极紫外光波长为13.5nm，由于容易被镜头玻璃等材料吸收，还会被空气和气体吸引影响折射率变化。
腔体需要采用真空系统。
投影光学系统则必须使用反射镜代替透镜，这使得反射镜的精度要求很高，同时制造成本昂贵。
掩膜方面因为极紫外光线的特殊性，普通掩膜版非常容易破坏，这就需要研发出特殊的掩膜版。
可以说这几项问题每个单独拿出来，都需要研究所进行大量长时间的研究。 ↑返回顶部↑
说这句话时虽尽可能的平静，奈何传进其他人耳中却不亚于惊雷。
众人瞬间炸开了锅。
“已经全部看完了，这怎么可能？”
“两天时间就看完了，按照正常情况那么多资料就算不吃不喝估计也要十天半月。”
“简直不可思议。”
……
“我之前就说了，在看东西这方面我还是比较快的。”
徐昀闻言有些不好意思的补充了句。
而这照样让大家心情复杂，已经不知道该如何形容这种感受。
心想这哪里是单纯比较快，简直是太快了。
约摸过去三四秒的时间，只听杨靖忍不住说道：“看来我们是远远低估了徐教授的天赋啊。”
最终还是罗长辉出声化解这份尴尬氛围，重新把话题拉到正轨上。
“好了。”
“徐教授能展现出这种强大天赋，我们大家应该感到高兴才是。”
“正是这样才有更多希望解决光刻机问题。”
话音落下看到大家深以为意，他才扭头重新把目光放到徐昀身上抛出一个问题。
“徐教授。”
“不知道你打算先解决哪项问题？”
说完不单单是罗长辉，在场其他人也都第一时间把目光集中到了徐昀身上静静等待答案。
花费两天时间看完所里的光刻机项目资料后，徐昀知道国产极紫外光刻机主要面临的问题，主要分为光源和掩膜以及投影光学系统等。
极紫外光刻机光源发出的极紫外光线，极其容易被物质吸收。
光束经过多次反射后，只有不到2％的光线能使用。
能量转化率极低。
因此需要强大光源，来保证射线光源足够强。
另外极紫外光波长为13.5nm，由于容易被镜头玻璃等材料吸收，还会被空气和气体吸引影响折射率变化。
腔体需要采用真空系统。
投影光学系统则必须使用反射镜代替透镜，这使得反射镜的精度要求很高，同时制造成本昂贵。
掩膜方面因为极紫外光线的特殊性，普通掩膜版非常容易破坏，这就需要研发出特殊的掩膜版。
可以说这几项问题每个单独拿出来，都需要研究所进行大量长时间的研究。 ↑返回顶部↑